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康晓辉

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院更多>>
相关领域：电子电信更多>>

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共 6 条 记 录，以下是 1-6
叶甜春
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陆晶
供职机构：中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题：分辨率 移相掩模技术 移相掩模 光刻 交替式
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘明
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢常青
供职机构：中国科学院
研究主题：LPCVD 掩模制作 铬 X射线光刻掩模 X射线
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈宝钦
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 电子束曝光 电子束直写 抗蚀剂 电子束
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈大鹏
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 刻蚀 MEMS 沟道 焦平面阵列
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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