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廖哲勋

作品数：8 被引量：5H指数：2
供职机构：上海交通大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程电子电信化学工程更多>>

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领域

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地区

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共 6 条 记 录，以下是 1-6
李以贵
供职机构：上海应用技术学院理学院
研究主题：微细加工技术 微针 压电 MEMS 微机电系统技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱军
供职机构：上海交通大学
研究主题：微针 MEMS 微电子机械系统 SU-8胶 光刻胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
罗江波
供职机构：上海交通大学
研究主题：TSV 硅基 子层 复合介质 高深宽比
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
罗晨晨
供职机构：上海交通大学
研究主题：方腔 反应离子刻蚀 反应离子 麦克风 微细加工工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡锦洋
供职机构：上海交通大学
研究主题：方腔 反应离子刻蚀 反应离子 模数转换器 麦克风
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈丹丹
供职机构：上海交通大学
研究主题：空调系统 冷水机组 优化控制 负荷优化分配 COP
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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