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陆晶

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子中心更多>>
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共 4 条 记 录，以下是 1-4
刘明
供职机构：中国科学院微电子中心
研究主题：电子束 电子束曝光 集成电路 电子束曝光机 抗蚀剂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈宝钦
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 电子束曝光 电子束直写 抗蚀剂 电子束
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张建宏
供职机构：中国科学院微电子中心
研究主题：电子束曝光 电子束曝光机 抗蚀剂 微细加工 MONTE_CARLO方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
牛洁斌
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 衬底 电子束曝光 电子束直写 衍射光栅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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