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刘明
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供职机构:
中国科学院微电子中心
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电子电信
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合作作者
陈宝钦
中国科学院微电子中心
张建宏
中国科学院微电子中心
李友
中国科学院微电子中心
陆晶
中国科学院微电子中心
张卫红
中国科学院微电子中心
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陈宝钦
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 电子束曝光 电子束直写 抗蚀剂 电子束
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张建宏
供职机构:中国科学院微电子中心
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李友
供职机构:中国科学院微电子中心
研究主题:抗蚀剂 微细加工 电子束曝光 GDS CIF格式
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陆晶
供职机构:中国科学院微电子中心
研究主题:移相掩模 移相 线条 电子束曝光机 电子束
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夏洋
供职机构:中国科学院微电子中心
研究主题:HEMT ALGAN/GAN_HEMT ALGAN/GAN 电子束
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任黎明
供职机构:北京大学
研究主题:石墨烯 金属 纳电子学 电子束曝光 光刻胶
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张海英
供职机构:中国科学院微电子中心
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供职机构:中国科学院微电子研究所
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梁俊厚
供职机构:中国科学院微电子中心
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薛丽君
供职机构:中国科学院微电子中心
研究主题:HEMT ALGAN/GAN_HEMT ALGAN/GAN 电子束
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