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陈宝钦
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 电子束曝光 电子束直写 抗蚀剂 电子束
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张建宏
供职机构:中国科学院微电子中心
研究主题:电子束曝光 电子束曝光机 抗蚀剂 微细加工 MONTE_CARLO方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李友
供职机构:中国科学院微电子中心
研究主题:抗蚀剂 微细加工 电子束曝光 GDS CIF格式
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陆晶
供职机构:中国科学院微电子中心
研究主题:移相掩模 移相 线条 电子束曝光机 电子束
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
夏洋
供职机构:中国科学院微电子中心
研究主题:HEMT ALGAN/GAN_HEMT ALGAN/GAN 电子束
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
任黎明
供职机构:北京大学
研究主题:石墨烯 金属 纳电子学 电子束曝光 光刻胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张海英
供职机构:中国科学院微电子中心
研究主题:HEMT ALGAN/GAN_HEMT ALGAN/GAN 电子束
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李泠
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 介质层 晶体管 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
梁俊厚
供职机构:中国科学院微电子中心
研究主题:抗蚀剂 微细加工 电子束曝光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
薛丽君
供职机构:中国科学院微电子中心
研究主题:HEMT ALGAN/GAN_HEMT ALGAN/GAN 电子束
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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