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王鲁蜂
作品数:
2
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供职机构:
中国科学院半导体研究所
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合作作者
王书荣
中国科学院半导体研究所
刘志宏
中国科学院半导体研究所
王圩
中国科学院半导体研究所
朱洪亮
中国科学院半导体研究所
张瑞英
中国科学院半导体研究所
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中国科学院
作者
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张瑞英
2篇
朱洪亮
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王鲁蜂
2篇
王圩
2篇
刘志宏
2篇
王书荣
年份
1篇
2007
1篇
2005
共
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偏振不灵敏半导体光放大器的制作方法
一种偏振不灵敏半导体光放大器的制作方法,其特征在于,包括以下制作步骤:1)在n型磷化铟衬底上一次外延压应变量子阱和张应变的准体材料相混合的有源结构;2)光刻腐蚀出宽为1μm左右的与〔011〕晶向有7度偏移的有源区斜条;3...
王书荣
王圩
刘志宏
张瑞英
朱洪亮
王鲁蜂
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偏振不灵敏半导体光放大器的制作方法
一种偏振不灵敏半导体光放大器的制作方法,其特征在于,包括以下制作步骤:1)在n型磷化铟衬底上一次外延压应变量子阱和张应变的准体材料相混合的有源结构;2)光刻腐蚀出宽为2μm左右的与〔011〕晶向有7度偏移的有源区斜条;3...
王书荣
王圩
刘志宏
张瑞英
朱洪亮
王鲁蜂
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