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刘子维: 作品数：17 被引量：0H指数：0; 供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>; 相关领域：理学机械工程自动化与计算机技术更多>>

合作作者

刘明中国科学院微电子研究所
谢常青中国科学院微电子研究所
牛洁斌中国科学院微电子研究所
李海亮中国科学院微电子研究所
王冠亚中国科学院微电子研究所

作品列表
供职机构
相关作者
所获基金
研究领域

文献类型

17篇中文专利

领域

3篇机械工程
3篇理学
1篇自动化与计算...

主题

15篇光栅
13篇衍射
11篇衍射光栅
10篇谐波
9篇谐波污染
8篇透光
8篇光栅结构
6篇单级
6篇自支撑
5篇噪声
5篇极紫外
5篇背景噪声
4篇衍射效率
4篇入射
4篇入射光
4篇透射
4篇透射光
4篇透射光栅
2篇信号
2篇圆孔

机构

17篇中国科学院微...

作者

17篇李海亮
17篇牛洁斌
17篇谢常青
17篇刘明
17篇刘子维
7篇王冠亚

年份

2篇2021
8篇2019
5篇2017
2篇2016

共 17 条记录，以下是 1-10

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排序方式：

一种相位型衍射光栅: 本发明涉及衍射光栅技术领域，尤其涉及一种相位型衍射光栅，包括：薄膜衬底；所述薄膜衬底上均匀开设的形状和尺寸相同的多个栅孔，其中，所述多个栅孔在所述薄膜衬底上呈规则阵列排布；所述多个栅孔呈规则阵列排布时的横向周期为P<Su...; 刘子维浦探超史丽娜谢常青牛洁斌王冠亚李海亮刘明; 文献传递

一种用于极紫外的二维单级衍射光栅: 本发明公开了一种极紫外光的二维单级衍射光栅，包括：透明基底以及位于所述透明基底表面的栅条层；所述栅条层具有多个透光栅条以及多个不透光栅条；所述透光栅条以及所述不透光栅条在第一方向上交替分布，且所述透光栅条以及所述不透光栅...; 刘子维浦探超史丽娜谢常青王冠亚李海亮牛洁斌刘明

一种单级衍射光栅: 本发明提供了一种单级衍射光栅，所述衍射光栅包括：不透光薄膜及N个透光孔；其中，所述N个透光孔以预设的几率密度、呈准斜方格子分布在所述不透光薄膜上；且所述透光孔的大小与所述准斜方格子的周期之间具有预设的比例；如此，不透光薄...; 史丽娜刘子维浦探超李海亮牛洁斌谢常青刘明; 文献传递

一种极紫外单级衍射光栅: 本申请提供一种极紫外单级衍射光栅，包括透光衬底；和位于所述透光衬底上的不透光薄膜，所述不透光薄膜上开设有多个圆形透光通孔；半径随机的圆形透光通孔在所述不透光薄膜上呈斜方格子分布，完全抑制了背景噪声，提高了信噪比；且所述斜...; 浦探超刘子维史丽娜谢常青李海亮牛洁斌刘明; 文献传递

一种纳米柱传感器、折射率检测装置及方法: 本申请公开一种纳米柱传感器、折射率检测装置及方法，所述纳米柱传感器包括：衬底、设置在所述衬底上的多个传感单元；所述多个传感单元在所述衬底上以预设间隔周期分布；所述多个传感单元中的每个传感单元包括多个纳米柱；其中，入射光照...; 刘子维史丽娜浦探超牛洁斌李海亮王冠亚谢常青刘明; 文献传递

一种相位型衍射光栅: 本发明涉及衍射光栅技术领域，尤其涉及一种相位型衍射光栅，包括：薄膜衬底；所述薄膜衬底上均匀开设的形状和尺寸相同的多个栅孔，其中，所述多个栅孔在所述薄膜衬底上呈规则阵列排布；所述多个栅孔呈规则阵列排布时的横向周期为P<Su...; 刘子维浦探超史丽娜谢常青牛洁斌王冠亚李海亮刘明; 文献传递

一种透射光栅: 本发明提供了一种透射光栅，所述透射光栅包括：不透光薄膜及N个透光狭缝；其中，所述N个透光狭缝在所述不透光薄膜上呈周期分布，且所述透光狭缝的大小与所述狭缝的分布周期之间具有预设的比例；所述狭缝沿所述光栅的y轴方向呈之字形；...; 史丽娜李海亮刘子维浦探超牛洁斌谢常青刘明

一种透射光栅: 本发明提供了一种透射光栅，包括：不透光薄膜及N个透光对称多边形孔；其中，N个透光对称多边形孔在不透光薄膜上呈斜方格子分布，且斜方格子的周期与对称多边形孔的大小之间具有预设的比例；如此，因N个透光对称多边形孔在不透光薄膜上...; 史丽娜刘子维浦探超李海亮牛洁斌谢常青刘明; 文献传递

一种纳米柱传感器、折射率检测装置及方法: 本申请公开一种纳米柱传感器、折射率检测装置及方法，所述纳米柱传感器包括：衬底、设置在所述衬底上的多个传感单元；所述多个传感单元在所述衬底上以预设间隔周期分布；所述多个传感单元中的每个传感单元包括多个纳米柱；其中，入射光照...; 刘子维史丽娜浦探超牛洁斌李海亮王冠亚谢常青刘明

一种衍射光栅: 本发明提供了一种衍射光栅，所述衍射光栅包括：不透光薄膜及开设在所述不透光薄膜上的N个透光圆孔；N为大于100的正整数；其中，所述N个透光圆孔以预设的几率密度、呈准斜方格子分布在所述不透光薄膜上；且所述透光圆孔的大小与所述...; 史丽娜牛洁斌李海亮刘子维浦探超谢常青刘明; 文献传递

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