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朱效立

作品数:155 被引量:122H指数:6
供职机构:中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
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领域

  • 29个电子电信
  • 22个机械工程
  • 20个理学
  • 16个自动化与计算...
  • 15个一般工业技术
  • 13个电气工程
  • 11个化学工程
  • 11个核科学技术
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  • 9个天文地球
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  • 8个生物学
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  • 8个环境科学与工...
  • 8个医药卫生
  • 8个农业科学
  • 8个自然科学总论
  • 7个矿业工程

主题

  • 22个光刻
  • 19个电子束光刻
  • 18个衍射
  • 18个光学
  • 17个等离子体
  • 16个纳米
  • 15个X射线
  • 14个射线
  • 14个刻蚀
  • 13个晶体管
  • 12个电路
  • 12个掩模
  • 12个衍射效率
  • 12个英文
  • 12个阵列
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  • 10个等离子体刻蚀
  • 10个电流
  • 10个光刻技术

机构

  • 30个中国科学院微...
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  • 6个安徽医科大学
  • 6个北方工业大学
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  • 6个北京印刷学院
  • 5个安徽新华学院

作者

  • 30个朱效立
  • 23个谢常青
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  • 16个刘明
  • 14个曹磊峰
  • 13个马杰
  • 12个叶甜春
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  • 10个张庆钊
  • 10个赵珉
  • 9个易涛
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  • 8个李海亮
  • 8个代月花
  • 7个杨国洪
  • 7个李兵
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传媒

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国家自然科学基金
相关领域:医药卫生 理学 自动化与计算机技术 经济管理 农业科学
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国家重点基础研究发展计划
相关领域:天文地球 医药卫生 理学 农业科学 自动化与计算机技术
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国家重点基础研究发展计划(2007CB935302)
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国家高技术研究发展计划
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国家自然科学基金(10727504)
相关领域:理学 机械工程 电子电信
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国家自然科学基金(60825403)
相关领域:电子电信 自动化与计算机技术 理学 机械工程 电气工程
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国家科技重大专项
相关领域:医药卫生 石油与天然气工程 天文地球 环境科学与工程 农业科学
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国家科技重大专项(2008ZX02051-005)
相关领域:电子电信
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国家高技术研究发展计划(2006AA843134)
相关领域:电子电信
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国家自然科学基金(60676008)
相关领域:电子电信 理学 机械工程 自动化与计算机技术 电气工程
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