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李志钢

作品数：4 被引量：9H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术更多>>

合作作者

共 2 条 记 录，以下是 1-2
中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题：电子束光刻 X射线光刻 非挥发性存储器 X射线 衍射光栅
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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