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刘子维

作品数：17 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
相关领域：理学机械工程自动化与计算机技术更多>>

合作作者

领域

  • 5个机械工程
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主题

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  • 4个等离子体共振
  • 4个等离子体增强
  • 4个电磁
  • 4个电磁波
  • 4个电子束抗蚀剂
  • 3个单晶
  • 3个单晶硅
  • 3个单片

机构

  • 5个中国科学院微...
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  • 2个中国科学院微...
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  • 1个西安理工大学
  • 1个天津大学
  • 1个中国科学院

资助

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  • 4个国家高技术研...
  • 4个国家重点基础...
  • 4个应用光学国家...
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  • 1个国家重大科学...
  • 1个国家重点实验...
  • 1个河北省自然科...
  • 1个全球变化研究...

传媒

  • 5个微纳电子技术
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地区

  • 5个北京市
共 5 条 记 录，以下是 1-5
李海亮
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 衬底 衍射光栅 自支撑 大高宽比
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘明
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢常青
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
牛洁斌
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 衬底 电子束曝光 电子束直写 衍射光栅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王冠亚
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：衍射光栅 大高宽比 电子束光刻 芯片 入射光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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